KETI-대구TP 원스톱 소재·부품 연계
소재부터 부품까지
통합 인프라 서비스
장비정보
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| 표준분류 | 광학/전자영상장비>현미경>공초점현미경 | |||
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| 장비명(국문) | HCI 부품소재 발열측정 공초점 열반사현미경 | 장비명(영문) | Confocal Thermal Reflectance Microscope for HCI component | |
| 모델명 | CTRM750 | 담당자연락처 | ||
| 보유기관 | 대구테크노파크(dris) | |||
| 장비설명 | • 레이저 포인트 빔 스캐닝 방식의 광학적인 비접촉 방식으로 관측하면서 온도에 따른 반사율의 변화를 감지하여 시료의 발열 특성을 분석 • 소자의 발열에 의한 온도 분포를 마이크로미터 수준의 현미경 분해능으로 관찰할 수 있는 공초점 열반사 현미경 • 광학 현미경 중 우수한 해상도와 깊이 분별력을 갖는 공초점 현미경 기능이 포함되어 반도체 등 미세 패턴 제작 과정과 제작 중 생기는 결함들을 보다 면밀히 확인 가능 • 열분포 영상 외에도 z-stack 메커니즘과 연동하여 3차원 이미지로의 구성이 가능하여, 3D 프로파일 분석을 위한 다양한 분석 기능을 제공 |
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| 표준분류 | 광학/전자영상장비>현미경>공초점현미경 |
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| 장비명(국문) | HCI 부품소재 발열측정 공초점 열반사현미경 |
| 장비명(영문) | Confocal Thermal Reflectance Microscope for HCI component |
| 모델명 | CTRM750 |
| 담당자연락처 | |
| 보유기관 | 대구테크노파크(dris) |
| 장비설명 | • 레이저 포인트 빔 스캐닝 방식의 광학적인 비접촉 방식으로 관측하면서 온도에 따른 반사율의 변화를 감지하여 시료의 발열 특성을 분석 • 소자의 발열에 의한 온도 분포를 마이크로미터 수준의 현미경 분해능으로 관찰할 수 있는 공초점 열반사 현미경 • 광학 현미경 중 우수한 해상도와 깊이 분별력을 갖는 공초점 현미경 기능이 포함되어 반도체 등 미세 패턴 제작 과정과 제작 중 생기는 결함들을 보다 면밀히 확인 가능 • 열분포 영상 외에도 z-stack 메커니즘과 연동하여 3차원 이미지로의 구성이 가능하여, 3D 프로파일 분석을 위한 다양한 분석 기능을 제공 |
