- 본장비는 반도체/디스플레이에서 활용되는 전압/전류/저항 측정기로 대면적 기반의 기판에서 다양한 전기적 특성 평가가 가능하도록 구성함.
- 특히 기존의 디스플레이 2세대 기판인 370*470mm 기판이 대응 가능하여 기업에서 pilot test가 지원 가능함.

[주요 사양]
- 전압/전류/저항을 측정 할 수 있는 측정 시스템 및 기판을 제어 할 수 있는 기구부로 구성됨.
- 4 probe로 구성하여 다양한 소자 특성 평가가 가능함.